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滑阀式真空泵，全称滑阀式油封机械真空泵，简称滑阀泵，同旋片泵一样，是一种变容积式气体传输泵，其应用范围和使用条件也与旋片泵基本相同。
滑阀式真空泵由于其结构特点，容量比旋片式真空泵大得多，因此更多地应用与大型真空设备上。滑阀式真空泵的基本类型也分为单级与双级两种类型。其中单级泵中的小泵极限压力一般不大于0.6Pa，大泵大不大于1.3Pa（均关气镇）；双级泵的极限压力不大于0.06Pa（关气镇）。抽速大于150L/s的滑阀式真空泵多采用单级形式。
由于滑阀式真空泵旋转质量有较大偏心，没有好的质量平衡，在运转时会产生较大振动。同时由于滑阀泵的旋转质心运动轨迹是复杂的封闭曲线，因此很难实现对滑阀泵惯性力的完全平衡。这就限制了滑阀式真空泵的转数，一般控制在350～600r/min，个别的可达到1000r/min以上。
二、滑阀式真空泵的工作原理与结构
1、滑阀式真空泵的工作原理
滑阀式真空的主要结构包括泵体、偏心轮、滑阀组件和导轨等，干式螺杆真空泵厂家珂勒曦以图例的方式为大家展现其简易工作原理。
如图，与泵腔同心的驱动轴带动偏心轮旋转，偏心轮带动滑阀环运动，使滑阀杆在导轨上下滑动和左右摆动。滑阀将泵腔分成A、B两个部分。当驱动轴按图中所示方向转动时，A腔容积增加，压力降低，气体经入口、滑阀杆（A腔一侧开口）进入A腔，此时处于吸气过程。滑阀继续顺时针向左上位置运转，A腔容积达到最大时，进气口与A腔隔绝，吸气过程结束，与此同时，B腔容积处于不断的减小、压缩气体的过程。当B腔气体压力达到排气压力时，推开油封的排气阀，开始排气。当滑阀处于正上方的位置时，排气结束（A腔容积也处于最大），新一轮的循环过程开始。
2、滑阀式真空泵的结构特点
如图一所示，滑阀式真空泵的主要结构包括了泵体、偏心轮、滑阀环、滑杆、导轨等一系列组件。与旋片式真空泵类似，滑阀泵也设有气镇阀，气镇孔开在排气口附近或端盖上，以排除含可凝性蒸气的气体，并在泵出口设置有油气分离器，减少泵油的损耗和对环境的污染。
下图是典型的滑阀式真空泵结构图。
除了单双级的区分外，滑阀式真空泵还有单缸、双缸、三缸的区分，其中三缸滑阀泵较好地解决了滑阀的质量平衡，使泵的振动得到了较好改善，转速也相对较高。
三、滑阀式真空泵的应用要点
滑阀式真空泵与旋片式真空泵一样可单独使用，同时也可作为扩散泵、油增压泵、罗茨泵等真空泵的前级泵使用，与旋片泵相比滑阀泵更为耐用，在真空镀膜、真空热处理、真空烧结、分子蒸馏、航空模拟实验的领域使用较多。但在遇含水蒸气、粉尘等介质环境，需加装过滤装置，也无法用于易燃易爆气体环境以及压缩输送气体。同时受限于油封式机械真空泵的特点，在一些清洁环境领域，如半导体、石化等，适用性不及一些干式真空泵。

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